硅烷特氣系統——特氣柜設計及氣路管道要求

硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒特種氣體。

硅烷在高科技行業中應用越來越廣泛，這與它的特性有關，同時也與行業的特殊需求有關。

1、硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學反應制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質。

舉例：半導體行業中，硅烷SiH4是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

硅烷管道要求

以上，便是硅烷特氣系統中硅烷（SiH4）的作用、特氣柜的設計和氣體管道要求，因為硅烷的危險特性，要選好特氣設備（特氣柜）和做好氣體管道安裝，這樣無論你是否使用，你都是可以放心和安全的。感謝您的閱讀！