硅烷特氣系統——特氣柜設計及氣路管道要求

時間:2021-05-02 09:01:41 來源:藍天音樂廳點擊:

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硅烷(SiH4)是一種在常溫常壓下具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒特種氣體。

硅烷在高科技行業中應用越來越廣泛,這與它的特性有關,同時也與行業的特殊需求有關。

1、硅烷(SiH4)可以通過熱分解或與其它氣體的化學反應制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質。

舉例:半導體行業中,硅烷SiH4是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一,與氨氣(NH3)結合使用,形成用于a-Si晶體管的氮化硅層;與氧化亞氮(N2O)結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

硅烷管道要求

以上,便是硅烷特氣系統中硅烷(SiH4)的作用、特氣柜的設計和氣體管道要求,因為硅烷的危險特性,要選好特氣設備(特氣柜)和做好氣體管道安裝,這樣無論你是否使用,你都是可以放心和安全的。感謝您的閱讀!

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